첨단반도체 센터구축 사업 정보 및 수행 내용

사업 문의

사업명
첨단반도체 소재·부품 시험평가 인프라 구축
사업기간
2024.10.01. - 2028.12.31. (4년 3개월)
수행기관
지자체
경상북도, 구미시
주관기관
한국산업기술시험원
공동기관
국립금오공과대학교, 구미전자정보기술원
사업 필요성
  • 집적화된 반도체 소재·부품 전용 시험평가 장비의 수요
  • 반도체 소재·부품 분야의 시험평가 역량 강화요구
  • 반도체 소재·부품 시험평가 결과의 객관성 및 신뢰성 확보
  • 반도체 소재·부품에 대한 종합적 시험평가, 기업지원의 시급성
주요 시험대상

기판 소재

Si, SiO2 wafer
SiC wafer
GaN wafer

전공정 소재, 부품

SiC parts
Quartz parts
AlN parts
Y2O3 parts
ESC
Heater
Photo-resist
Photo mask

후공정 소재, 부품

EMC
방열기판
Lead-frame
시험장비

구조/형상 분석

FIB-SEM
3차원 측정기
XPS
XRD
열변형 분석기

박막 특성 분석

SiC parts
Sheet Resistance
Alpha step
Hall Effect

결함 분석

Micro CT
Plasma Etching
PHEMOS
LPC

화학 분석

ICP-OES
LC-MSMS
ICP-MS
GC-MS
GD-MS
기업 지원 범위

  • 시험평가 인프라 지원

    • 첨단 성능평가 장비 지원
    • 기구축 인프라 포함 공동 활용 지원

  • 연구개발 지원

    • 공동 기술개발 및 수탁 연구과제 수행
    • 핵심 기술 확보 지원

  • 컨설팅 및 기술지도

    • 시험분석 애로기술, 공정개선, 고장분석 등 맞춤형 컨설팅 제공

  • 네트워크 구성

    • 산학연 전문가 네트워크 구축
    • 기술교류회, 워크숍, 기업상생 협력 촉진

  • 전문인력 양성

    • 재직자 중심 장비활용, 시험평가 이론 교육
    • 현장 중심의 전문교육 실시

  • 기술, 제품 사업화

    • 기술, 제품 정보 데이터베이스 제공
    • 개발된 기술의 시장 진출 지원
주요 지원 항목 및
지원 기관

시험평가 인프라 지원

  • KTL
    시험성적서 발급
  • KTL, KIT
    고장/불량 원인 분석
  • KTL, GERI
    소재 물성, 부품 신뢰성 평가

컨설팅 및 기술지도

  • KTL, KIT, GERI
    공정개선, 품질향상 솔루션 제공
  • KTL, KIT, GERI
    애로기술 상담, 상세 기술 지원

연구개발 및 인력/정보

  • KTL, KIT, GERI
    공동 기술개발 및 협력
  • KTL, KIT, GERI
    위탁, 수탁 및 용역 연구
  • KIT
    재직자/학생 현장교육
  • GERI
    기술, 제품정보 데이터베이스 제공