[추진단] 「반도체 장비 챔버용 소재부품 제조 및 검증 테스트베드 구축」 산업부 공모 최종 선정(2026. 5. 14.)

□ 사업개요
 ◦ 사업기간 : 2026. 5. ∼ 2030. 12.(56개월) 
 ◦ 총사업비 : 400억원
 ◦ 위    치 : 구미시 공단동 282번지(국가1산단 ㈜방림 부지내)
 ◦ 사업내용
   - (센터구축) 반도체 챔버용 소재․부품 특화 기술지원 센터 건축(연면적 3,000㎡)
   - (장비구축) 반도체 챔버용 핵심 소재․부품 제조․검증 장비(약44종) 도입
   - (기술지원) 시제품 제작 지원, 시험분석 및 검증 평가, 컨설팅 및 기술지도(공정개선, 품질향상, 애로기술 해결 등)
 ◦ 시행주체 : 산업통상부, 경상북도, 구미시
 ◦ 주관기관 및 참여기관
   - (주관기관) 한국세라믹기술원
   - (참여기관) 한국산업기술시험원, 한국반도체산업협회, 구미전자정보기술원

□ 주요 시험대상
 ◦ 3대 핵심 챔버 부품
   - 정전척 : 12인치 다층세라믹 기반 극저온 대응 정전척
   - 포커스 링 : 신소재 기반 내플라즈마 포커스 링
   - 챔버 라이너 : 고내식성 소재 기반 대면적 라이너
 ◦ 핵심 소재군
   - 알루미나, 질화알루미늄, 이트리아
   - 합성/천연 쿼츠 이트륨 옥시플루오라이드
 ◦ 적용 공정 : 식각, 증착 등 전 공정 챔버 공정 전반

□ 추진일정
 ◦ 센터건립(설계, 건축 인허가, 착공 및 준공) : 2027. 1월 ~ 2029. 6월
 ◦ 장비구축 및 기술지원 : 2027. 1월 ~ 
    ※ 센터 준공 전까지 임시공간(금오테크노벨리 내)에 장비구축 예정

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[참고] 특화단지 핵심 인프라 사업 현황
 ◦ 반도체 소재․부품 시험평가센터 구축사업(396억원 / 24.10월 ~ 28.12월)
 ◦ 첨단방위산업용 시스템반도체 부품 실증기반 구축사업(167억원 / 24.6월 ~ 28.12월)
 ◦ 반도체 장비 챔버용 소재부품 제조 및 검증 테스트베드 구축사업(400억원 / 26. 5월 ~ 30.12월)