헬륨 기밀성 시험기
- 구축연도
- 2025년 구축
- 약칭
- -
- 제조사
- ㈜ 이엘 Pfiffer Vacuum
- 모델명
- ASM 392
- 담당자명
- KTL 김상활 주임연구원
- 문의전화
- 02-860-1546
장비 사용 용도
- 기밀부품의 밀봉(Sealing) 결함의 유/무를 판별하는 장치
- 챔버 내에 시료를 넣고 헬륨을 가압한 후, 진공챔버로 옮겨 고진공상태로 만들고 내부로 유입된 헬륨의 여부를 판단함.
주요스펙
- 감지 가능 기체: 4He, 3He, H2
- 최소 누출 감지: 1×10-12 mbar l/s
- 헬륨 펌프 속도 25 l/s
- 배압 용량: 35 m3/h
- 챔버 내압: 최대 6 bar
- MIL-STD-883, MIL-STD-750 Compatible